納米操作機(jī)

產(chǎn)品簡介

納米操作機(jī)是一種可以在微納米尺度下與樣品進(jìn)行精密操作和表征（如電學(xué)、力學(xué)、光學(xué)等），兼容于各種顯微鏡平臺（如光學(xué)顯微鏡、SEM、FIB等）進(jìn)行各種物理測量的精密儀器。該系統(tǒng)全部由NATORS自主開發(fā)的模塊化部件組成，可根據(jù)用戶需求提供定制化解決方案。

產(chǎn)品特性

• 閉環(huán)運(yùn)動控制，具有數(shù)十毫米運(yùn)動行程和納米級運(yùn)動分辨率

• 低漂移，高重復(fù)定位精度

• 結(jié)構(gòu)緊湊、體積小，適配市面上大部分顯微鏡平臺

• 模塊化設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶需求提供定制化服務(wù)

產(chǎn)品應(yīng)用

• 微納操作與微裝配

• 半導(dǎo)體納米芯片電學(xué)探測

• 材料納米力學(xué)測量（納米壓痕、彎曲、拉伸測試）

• 光電材料等原位光誘導(dǎo)或原位性能測量

• MEMS器件測試

規(guī)格參數(shù)