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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
NMT納米壓痕儀，能夠提供在光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡下，實(shí)時(shí)表征和觀察微/納米尺度材料機(jī)械力學(xué)性能。通過(guò)高分辨率的力傳感器、位移傳感器以及自動(dòng)控制方法，可記錄力學(xué)性能表征測(cè)試過(guò)程中，材料表面被壓入的深度和負(fù)載數(shù)據(jù)，形成力-位移曲線。
產(chǎn)品特性
高精度力和位移測(cè)量
多種力傳感器和尖端形狀應(yīng)對(duì)多種機(jī)械特性材料
兼容各類(lèi)主流光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡
產(chǎn)品應(yīng)用
 | ||
| 納米壓痕測(cè)試 | 拉伸和壓縮測(cè)試 | 納米操縱與裝配 |
規(guī)格參數(shù)
| 力傳感器 | Sensor A | 測(cè)量分辨率 | 1 nN |
|---|---|---|---|
| 測(cè)量范圍 | +/- 50 uN | ||
| 尖端 | AFM硅探頭 | ||
| Sensor B | 測(cè)量分辨率 | 1 uN | |
| 測(cè)量范圍 | +/- 20 mN | ||
| 尖端 | 金剛石尖端；可定制化尖端 | ||
| Sensor C | 測(cè)量分辨率 | 10 uN | |
| 測(cè)量范圍 | +/- 500 mN | ||
| 尖端 | 金剛石尖端；可定制化尖端 | ||
| 樣品臺(tái) | 標(biāo)準(zhǔn)模塊 | 運(yùn)動(dòng)平臺(tái) | XYZ |
| 運(yùn)動(dòng)范圍 | 10x10x10 mm | ||
| 運(yùn)動(dòng)分辨率 | 1 nm | ||
| 編碼器分辨率 | 2 nm | ||
| 壓痕臺(tái) | 標(biāo)準(zhǔn)模塊 | 位移范圍 | 8 um |
| 位移分辨率 | 0.02 nm | ||
| 本底噪聲 | 0.2 nm |