性能參數(shù)參數(shù)下載圖紙下載CAD模型
| 概觀 | |
|---|---|
| 步進(jìn)行程[mm] | 55 |
| 掃描行程[μm] | >2 |
| 尺寸[mm] | 78 x 78 x 15 |
| 重量[g] | 180 |
| 力特性 | |
| 最大推力[N] | 2 |
| 最大負(fù)載[N] | 10 |
| 最大升力[N] | 1 |
| 定位性能 | |
| 開環(huán)最大速度[mm/s] | >5 |
| 開環(huán)定位分辨率[nm] | <1 |
| 閉環(huán)最大速度[mm/s] | >5 |
| 閉環(huán)定位分辨率[nm] | <2 |
| 單向重復(fù)定位精度[nm] | ±50 |
| 選配 | |
| 材質(zhì) | 標(biāo)配為鋁底座；可選配鋼座（-ST）、鈦基（-TI）；均黑色陽極氧化（-BK） |
| 真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
| 高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
| 無磁 | 可根據(jù)要求定制 |
* 所有技術(shù)規(guī)格參數(shù)均為近似值，由于產(chǎn)品持續(xù)研發(fā)，我們保留更改技術(shù)規(guī)格的權(quán)利，恕不另行通知。