性能參數(shù)參數(shù)下載圖紙下載CAD模型
| 概觀 | |
|---|---|
| 孔徑尺寸[mm] | 0…24 |
| 外形尺寸[mm] | 56 x 56 x 19 |
| 重量[g] | 100 |
| 定位性能 | |
| 閉環(huán)最大速度[mm/s] | >3 |
| 閉環(huán)定位分辨率[um] | <2 |
| 單向重復定位精度[um] | 30 |
| 選配 | |
| 材質 | 標配為鋁底座；可選配鋼座（-ST）、鈦基（-TI）；均黑色陽極氧化（-BK） |
| 真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
| 高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
| 無磁 | 可根據(jù)要求定制 |
* 所有技術規(guī)格參數(shù)均為近似值，由于產(chǎn)品持續(xù)研發(fā)，我們保留更改技術規(guī)格的權利，恕不另行通知。